半导体洁净烘箱
产品内容介绍
产品特点
PRODUCT FEATURES
洁净烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他Ψ 对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化，也适▃用于安装在洁净室环境中。100级的洁净度主要通过使用初效过滤器，HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的，在加∞热或冷却过程中提供稳定的性能。快速升温和恢复时间确保出色的温度控制和均匀性。具有独特的机械对流气ζ 流系统。风扇将底部烤箱产生的热量带走，防止损坏顶部单元。
洁净烘◇箱采用PT100铂传感器测量实际的腔室温度， 0.3μmHEPA高效过滤器，对空□气进行有效循环过滤。烤箱还具备流量计和NPT配件，将惰性气体如氮气等引入腔室内进〓行□ 特殊工艺烘烤，可以保持低至200PPM含氧水平。
洁净烘箱外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处▅理；内部是耐腐蚀的不锈钢。配备四个可调节的穿╲孔不锈钢托架，支架和机身易于拆卸，便于清洗。
安全功能包括独立超温保护，相序保护，断电保护等多重保护机制，确保使→用安全。设有安全门，烘烤降温卐到指定温度后才可以打开门，确保操作※人员操作安全。
1、SUS304 1.5mm不锈钢板，全满焊工艺；
2、箱内风道内设有洁净空气入口并↑装有高效过滤器▼。可使用换气和不换气模式，可以使箱内保〗证微正压，以保证污染物不能㊣进入内箱；
3、高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室，可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求，可以↓满足洁净级别ISO Class 5（国标100级），ISO Class 6（国标1000级），ISO Class 7（国标10000级）等各种等级的需求；
4、配置自动充氮气装置，与自动开关风门进行充氮烘烤；
5、全新开发触摸屏操作系统，带高精度PID主控仪，控温精度为±0.1℃，自动恒温。可以保存配◤方，查看温度曲线，导出升温数据等；
6、根据使用要求，可以接受定制。
产品参数
PRODUCT PARAMETERS
型号 | YH-J100-ES-02 |
温度范围 | 常温—300℃ |
温度精度 | ±1℃ |
温度均匀性 | ±2%（空载） |
加热功率 | 6KW |
容积 | 350L |
工作尺寸（高*宽*深） | 910*620*620(mm) |
外部尺寸（高*宽*深） | 1750*855*1030(mm) |
过滤器 | HEPA耐高温高︻效过滤器（CLASS 100） |
含氧量范围 | 1%-100PPM(选配) |
升温速率 | 升温速率可调，空载常温升至175℃大约30分钟 |
定制服务
CUSTOM SERVICE
深圳怡和兴可以提供不同程度的均匀性、尺寸、温度范围；如果您有特定的要求或规格，请根据您的需求与我们联系，以便我们确保设备的设计、测试和调整能够满足您的要求。
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